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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

Das Fraun­ho­fer FEP wid­met sich der Ent­wick­lung inno­va­ti­ver Lösun­gen, Tech­no­lo­gien und Pro­zesse zur Ver­ede­lung von Ober­flä­chen und für die orga­ni­sche Elek­tro­nik. Unsere Kern­kom­pe­ten­zen Elek­tro­nen­strahl­tech­no­lo­gie, Sput­tern, plas­ma­ak­ti­vierte Hoch­rate­be­damp­fung, Hoch­rate-PECVD sowie Tech­no­lo­gien für orga­ni­sche Elek­tro­nik und IC-/ Sys­tem­de­sign nut­zen wir zur Lösung viel­fäl­ti­ger indus­tri­el­ler Pro­blem­stel­lun­gen der Ober­flä­chen­be­hand­lung, Vaku­um­be­schich­tung und der orga­ni­schen Halb­lei­ter.

Trans­pa­rente leit­fä­hige Oxid­schich­ten (TCOs) wer­den häu­fig durch Sput­tern kera­mi­scher Tar­gets auf gro­ßen Flä­chen abge­schie­den. Das bekann­teste TCO-Mate­rial ist Indium-Zinn-Oxid (ITO). Es wird als trans­pa­ren­tes Elek­tro­den­ma­te­rial in Dis­plays, in der Pho­to­vol­taik oder Glas­ver­ede­lung ein­ge­setzt. Hier­bei wird häu­fig das Gleich­strom-Sput­tern (DC) zur Schicht­er­zeu­gung ver­wen­det. Schich­ten mit hoher Trans­pa­renz im sicht­ba­ren Spek­tral­be­reich und hoher elek­tri­scher Leit­fä­hig­keit kön­nen auf vor­ge­heiz­tem Sub­strat oder durch ther­mi­sche Nach­be­hand­lung der Schich­ten ein­ge­stellt wer­den.

WIR BIE­TEN AB SOFORT EINE

Abschluss­ar­beit

zum Thema „Unter­su­chung der Pro­zess­sta­bi­li­tät von Blitz­lam­pen für den Ein­satz zur Ther­mi­schen Nach­be­hand­lung von ITO-Schich­ten"

Auf­ga­ben­be­sch­rei­bung:

Im Rah­men der Abschluss­ar­beit soll der Pro­zess der Blitz­lam­pen­tem­pe­rung (engl. Flash Lamp Anne­aling, FLA) zur ther­mi­schen Nach­be­hand­lung von ITO-Schich­ten unter­sucht wer­den. Es soll der Ein­fluss der Wahl der Betriebs­pa­ra­me­ter bei der ther­mi­schen Behand­lung auf die Pro­zess­sta­bi­li­tät des Tem­perns, der Lebens­dauer der Blitz­lam­pen und Eigen­schaf­ten der ITO-Schich­ten erforscht wer­den. Zudem sol­len Zusam­men­hänge zur Lang­zeit­sta­bi­li­tät des FLA-Pro­zes­ses ermit­telt wer­den. Im Rah­men die­ser Abschluss­ar­beit sol­len die Poten­ziale und Gren­zen des ther­mi­schen Nach­be­hand­lungs­ver­fah­rens für den Ein­satz in der groß­flä­chi­gen Beschich­tung eva­lu­iert wer­den.

Die Abschluss­ar­beit umfasst fol­gende Schwer­punkte:
  • Aus­führ­li­che Lite­ra­tur­re­cher­che zum Thema
  • Ver­suchs­pla­nung und Ver­suchs­durch­füh­rung: (Abschei­dung von ITO-Schich­ten mit DC-Sput­tern auf Glas­sub­strate an einer unse­rer In-Line Beschich­tungs­an­la­gen; Ther­mi­sche Nach­be­hand­lung der Schich­ten mit FLA)
  • Unter­su­chung des FLA-Pro­zes­ses◦Ein­fluss der Betriebs­pa­ra­me­ter (Lang­zeit­sta­bi­li­tät des Pro­zes­ses; Eigen­schaf­ten der ITO-Schich­ten)
  • Cha­rak­te­ri­sie­rung der ITO-Schich­ten:◦Schicht­di­cken (Pro­filo­me­ter) (Opti­sche Eigen­schaf­ten: Trans­mis­si­ons- und Refle­xi­ons­ver­hal­ten, Extink­ti­ons­ko­ef­fi­zi­ent, Bre­chungs­in­dex (UV/VIS/NIR Spek­tro­me­trie); Elek­tri­sche Eigen­schaf­ten: Flä­chen­wi­der­stand, spe­zi­fi­scher elek­tri­scher Wider­stand, Ladungs­trä­ger­kon­zen­tra­tion, Ladungs­trä­ger­be­weg­lich­keit (Vier-Spit­zen-Methode, Hall-Mes­sun­gen); Ober­flä­chen­to­po­gra­phie, Rau­heit)

Die expe­ri­men­tel­len Arbei­ten fin­den am Fraun­ho­fer FEP statt.

Er­war­te­te Qua­li­fi­ka­tio­nen:

Die Aus­schrei­bung rich­tet sich vor­ran­gig an Stu­die­rende der Phy­sik, der Phy­si­ka­li­schen Tech­nik, der Werk­stoff­wis­sen­schaf­ten oder der Elek­tro­tech­nik (mit Spe­zia­li­sie­rung in Vaku­um­be­schich­tung).

Der Umfang der Arbeit rich­tet sich nach der jewei­li­gen Prü­fungs­ord­nung der Hoch­schule. Die Arbeit kann sowohl von Diplom-, Mas­ter- als auch von Bache­lor­stu­die­ren­den durch­ge­führt wer­den. Für Bache­lor­stu­die­rende ist die Aus­schrei­bung auf­grund der län­ge­ren Ein­ar­bei­tungs­zeit nur dann geeig­net, wenn die Bache­lor­ar­beit mit einem For­schungs­prak­ti­kum ver­bun­den wird und so ein Zeit­raum von min­des­tens 6 Mona­ten mög­lich ist.

Vor­kennt­nisse auf den The­men­ge­bie­ten Vakuum und Vaku­um­be­schich­tung sind wün­schens­wert. Erste Erfah­run­gen mit der Cha­rak­te­ri­sie­rung der Eigen­schaf­ten dün­ner Schich­ten sind von Vor­teil.

Sie sind in der Lage, sich schnell in neue Pro­blem­stel­lun­gen ein­ar­bei­ten zu kön­nen und haben Inter­esse an der selbst­stän­di­gen Pla­nung und Durch­füh­rung von Expe­ri­men­ten. Gute Kennt­nisse der deut­schen und eng­li­schen Spra­che sind unab­ding­bar.

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Hin­wei­se zur Be­wer­bung:

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